- Transferencia de sustratos
- Esclusas de carga
- Cámaras de vacío
- Rendimiento repetible
- Manipulación precisa
- Menor intervención
Descripción
El robot de vacío SIASUN SM15 transfiere sustratos (como obleas) o piezas sensibles entre esclusas de carga, cámaras de vacío y estaciones internas en herramientas de proceso integradas.
Favorece una productividad repetible, una manipulación precisa y una menor intervención humana en la fabricación de semiconductores.
El SM15 atiende aplicaciones de manipulación al vacío en los sectores semiconductor, de inspección e industrial.
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Características
Especificaciones
| Modelo | SM15 |
|---|---|
| Tipo de robot | Robot de vacío |
| Uso previsto | Herramientas de proceso de semiconductores |
| Marca | SIASUN |
Sectores
Preguntas frecuentes
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El SIASUN SM15 Vacuum Robot transfiere sustratos entre esclusas de carga y estaciones de equipos de proceso. Manipulación precisa para el rendimiento de la fabricación de semiconductores.
Robot de vacío SIASUN SM15 es ideal para aplicaciones en los sectores Industrial.
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