- Environnement sous vide
- Transfert de plaquettes
- Intégration en cluster tool
- Mouvement reproductible
- Haute disponibilité
- Réduction des particules
Description
Le SIASUN Vacuum Robot Archer Series transfère des wafers ou substrats entre les chambres de procédé dans les équipements en grappe. Conçu pour les environnements sous vide avec un mouvement répétable et une haute disponibilité.
Il s'intègre aux modules d'automatisation front-end et aux outils cluster sous vide pour réduire la génération de particules et maintenir une fabrication propre.
L'Archer Series est destinée aux applications de traitement sous vide dans les semi-conducteurs et l'industrie.
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Fonctionnalités
Spécifications
| Modèle | Vacuum Robot Archer Series |
|---|---|
| Type de robot | Transfert sous vide |
| Usage prévu | Traitement des semi-conducteurs |
| Marque | SIASUN |
Secteurs
Questions fréquentes
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La SIASUN Vacuum Robot Archer Series transfère les wafers dans les équipements cluster sous vide. Automatisation à haute disponibilité pour les environnements propres de traitement des semi-conducteurs.
SIASUN Vacuum Robot Archer Series convient parfaitement aux applications dans les secteurs Industriel.
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SIASUN Vacuum Robot Archer Series
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