Le robot sous vide SIASUN SM12 manipule des plaquettes de silicium et des substrats de saphir pour LED. La conception privilégie la rigidité, la suppression des vibrations et un mouvement à grande vitesse grâce à une structure légère.

Il fonctionne dans des environnements sous vide contrôlé ou adjacents au vide avec une manipulation répétable des substrats.

Le SM12 répond aux applications de manipulation de substrats dans les secteurs semi-conducteur, LED et industriel.

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