- Direct-drive-motorstructuur De directe koppeling zonder tandwielen of riemen vermindert speling en mechanische meegaafheid voor een soepelere, responsievere beweging in vacuümbedrijf.
- Lagere deeltjesvorming Minder mechanische overbrengingsraakvlakken betekent minder slijtagedeeltjes, een belangrijk voordeel in schone en vacuümomgevingen waar verontreinigingen worden versterkt.
- Nieuwe I/O-module Een bijgewerkte in-/uitgangsmodule verbetert de besturingsintegratie voor automatiseringsfuncties binnen vacuüm- en load-lock-systemen.
- Ondersteuning voor hardware-interrupts Interrupt-gestuurde ingangen maken het afhandelen van gebeurtenissen met lage latentie mogelijk voor vergrendelingen, uitlijningsgebeurtenissen en coördinatie met druk- en deurtoestandsignalen.
- Verminderde onderhoudsgevoeligheid Het wegvallen van riemen en tandwieltreinen verwijdert verbruiksonderdelen in de overbrenging die anders regulier onderhoud zouden vereisen.
- Vacuümgerichte architectuur Het platform is specifiek ontworpen voor vacuümtransport binnen kamers, load-lock-systemen en clustertools in plaats van voor open gebruik op de fabrieksvloer.
Beschrijving
De SIASUN PHOENIX-S25 serie is een vacuümmanipulatorplatform dat is ontworpen voor schoon transport binnen vacuümkamers, load-lock-systemen en clustertools. In tegenstelling tot conventionele robots op de fabrieksvloer moeten vacuümmanipulatoren zorgvuldig omgaan met verontreiniging, smering en afdichting, en de PHOENIX-S25 pakt dit aan met een direct-drive-motorstructuur die tandwielen, riemen en soortgelijke overbrengingselementen uit de interne architectuur verwijdert. Het verminderen van deze mechanische raakvlakken verlaagt de deeltjesvorming, verkleint het aantal verbruiksonderdelen in de overbrenging en ondersteunt een schoner, responsiever bewegingsprofiel. De serie introduceert ook een nieuwe I/O-module met ondersteuning voor hardware-interrupts voor het afhandelen van gebeurtenissen met lage latentie.
Deze kenmerken maken de PHOENIX-S25 zeer geschikt voor verontreinigingsgevoelige processen waarbij onderdelen of substraten tussen modules bewegen zonder blootstelling aan omgevingslucht. De hardware-interruptfunctie stelt het besturingssysteem in staat snel te reageren op de status van het vacuümsysteem, de toestand van de load-lock-deuren, sensorgestuurde uitlijningsgebeurtenissen en signalen over de gereedheid van modules, wat helpt om deterministische beweging binnen een vacuümtransportzone te coördineren. Het wordt het nauwst geassocieerd met de productie van halfgeleiders en displays, waar wafers en panelen binnen vacuümclustertools worden gehanteerd om oxidatie en verontreiniging te minimaliseren. De PHOENIX-S25 wordt op offertebasis geleverd, waarbij configuratie en procesintegratie vóór bestelling worden bevestigd.
Kenmerken
Specificaties
| Merk | SIASUN |
|---|---|
| Model | PHOENIX-S25 Series |
| Type | Vacuümmanipulator |
| Aandrijfstructuur | Direct-drive (no gears or belts) |
| Besturings-I/O | New I/O module with hardware interrupt support |
| Herkomst | China |
Sectoren
Veelgestelde vragen
Het is een SIASUN vacuümmanipulatorplatform dat is ontworpen om onderdelen of substraten tussen procesmodules te verplaatsen binnen vacuümkamers, load-lock-systemen en clustertools zonder ze bloot te stellen aan omgevingslucht. De direct-drive-architectuur en de bijgewerkte I/O zijn bedoeld voor schoon, responsief bedrijf.
Het verwijderen van tandwielen, riemen en soortgelijke overbrengingselementen verlaagt de deeltjesvorming door mechanische slijtage, vermindert het aantal verbruiksonderdelen en kan de dynamische respons verbeteren door speling en meegaafheid te verminderen, wat allemaal wordt gewaardeerd bij vacuüm- en schoon transport.
Hij wordt het sterkst geassocieerd met de productie van halfgeleiders en displays, waar wafers en panelen tussen modules worden overgebracht in vacuümclustertools om het risico op oxidatie en verontreiniging te verminderen. Hij is geschikt voor processen waarbij een gecontroleerd, schoon transport een fundamentele vereiste is.
De PHOENIX-S25 serie wordt op offertebasis geleverd, afhankelijk van beschikbaarheid. Dien een offerteaanvraag in via Robotix Market en ons team bevestigt prijs, beschikbaarheid, configuratie en vereisten voor procesintegratie voor uw project.
De PHOENIX-S25 serie valt onder de fabrieksgarantie die door SIASUN wordt geleverd. Robotix Market verzendt wereldwijd, waarbij de leveringsdetails als onderdeel van uw offerte worden bevestigd.
Recent bekeken
Je hebt nog geen producten bekeken.
