Beschrijving

De vacuümmanipulator uit de SIASUN PHOENIX PLUS-serie opereert binnen vacuümprocesapparatuur zoals cluster tools voor depositie, etsen of verwante vacuümprocessen.

Verplaatst wafers of substraten tussen load locks, procesmodules en metrologiestations onder gecontroleerde vacuümomstandigheden.

De Phoenix Plus-serie wordt ingezet voor vacuümhandling in de sectoren halfgeleiders en industrie.

Neem contact met ons op voor prijzen en beschikbaarheid.

Kenmerken

Vacuum manipulator
Cluster tools
Deposition/etch
Load locks
Metrology stations
Vacuum conditions

Specificaties

Model: Vacuum Manipulator PHOENIX PLUS Series
Robot Type: Vacuum manipulator
Target Use: Cluster tool integration
Brand: SIASUN

Sectoren

Industrial

SIASUN

SIASUN Vacuümmanipulator Phoenix Plus-serie

Regular price: Prijs op aanvraag

In Stock

Robotic Arm

De SIASUN PHOENIX PLUS Vacuum Manipulator werkt in clustertools voor depositie en etsen. Gecontroleerde vacuümtransfer tussen load locks en procesmodules.

Klik op Prijs aanvragen voor de prijs, of voeg toe aan de winkelwagen voor een offerte met meerdere artikelen.

Recent bekeken

You haven't viewed any products yet.

SIASUN Vacuümmanipulator Phoenix Plus-serie

Recent bekeken

Robotix Market

Offerte aanvragen

Artikelen in uw offerteaanvraag:

Prijsaanvraag

SIASUN Vacuümmanipulator Phoenix Plus-serie