- Vacuum wafer transfer
- Load locks
- Process modules
- Repeatability
- Throughput
- Contamination control
Beschrijving
De SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series verplaatst wafers tussen load locks, transferkamers en procesmodules (depositie, etsen, metrologie) zonder gecontroleerde omgevingen te doorbreken.
Verbetert herhaalbaarheid, doorvoer en contaminatiebeheersing in halfgeleider- en cleanroomproductie.
De Phoenix B Series is geschikt voor vacuümhandlingtoepassingen in halfgeleiders, onderwijs en industrie.
Neem contact op voor prijzen en beschikbaarheid.
Kenmerken
Specificaties
Sectoren
SIASUN Vacuum Robot Phoenix B Series
- Regular price
- Prijs op aanvraag
In Stock
Humanoid Robots
Recent bekeken
You haven't viewed any products yet.
