- Vakuumkammer
- Cluster-Tool
- Direktantriebsmotor
- Erweiterte I/O
- Sicherheitszonen
- Kollisionsschutz
Beschreibung
Der SIASUN SM11 Vakuumroboter arbeitet in Vakuumkammern und Cluster-Tool-Architekturen. Entwickelt für Kontaminationskontrolle, Wiederholgenauigkeit und zuverlässige Zyklenlebensdauer.
Ausgestattet mit Direktantriebs-Motorstruktur, erweitertem I/O-Modul, konfigurierbaren Sicherheitszonen und Kollisionsschutz.
Der SM11 wird für Vakuum-Handling in den Bereichen Halbleiter und Industrie eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | SM11 |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuumroboter |
| Merkmale | Direktantrieb, Sicherheitszonen |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Der SIASUN SM11 Vacuum Robot arbeitet in Vakuumarchitekturen von Clustertools. Direktantriebsmotor mit konfigurierbaren Sicherheitszonen und Kollisionsschutz.
SIASUN SM11 Vakuum eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN SM11 Vakuum
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