- VTM-Betrieb
- Transferkammer
- Siliziumwafer
- Prozesskammern
- Reinheit
- Positioniergenauigkeit
Beschreibung
Der Vakuum-Manipulator der SIASUN PHOENIX-Serie arbeitet innerhalb eines Vakuum-Transfermoduls (VTM) oder einer Transferkammer eines Cluster-Tools. Bewegt Substrate (üblicherweise Siliziumwafer) zwischen Load-Locks und mehreren Prozesskammern.
Erfüllt strenge Reinheitsanforderungen, Positioniergenauigkeit und Verfügbarkeitsanforderungen als Teil des Frontend-Automatisierungsökosystems.
Die Phoenix-Serie wird für Anwendungen in den Bereichen Halbleiter, Logistik, Forschung und Inspektion eingesetzt.
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Funktionen
Technische Daten
| Modell | Vacuum Manipulator PHOENIX Series |
|---|---|
| Robotertyp | Vakuummanipulator |
| Verwendungszweck | VTM-Cluster-Tool |
| Marke | SIASUN |
Branchen
Häufig gestellte Fragen
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Der SIASUN PHOENIX Vacuum Manipulator arbeitet in Vakuumtransfermodulen und Clustertools. Siliziumwafer-Handhabung mit strengen Anforderungen an Reinheit und Positioniergenauigkeit.
SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix-Serie eignet sich hervorragend für Anwendungen in den Bereichen Industrie.
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SIASUN Vakuum-Manipulator Phoenix-Serie
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