Вакуумный робот SIASUN SM15 транспортирует подложки (такие как пластины) или чувствительные детали между шлюзовыми камерами, вакуумными камерами и внутренними станциями в интегрированных технологических установках.

Поддерживает повторяемую производительность, точную обработку и сокращение участия человека в производстве полупроводников.

SM15 обслуживает применения в области полупроводников, контроля и промышленной вакуумной обработки.

Свяжитесь с нами для уточнения цены и наличия.